用于制造平面显示器(FPD)之设备

摘要

本发明系一种用于制造平面显示器(Flat Panel Display, FPD)之设备，其系由处理室、隔板、升降杆、及连杆所组成。其中处理室内包括支撑平面显示器(FPD)基板之基板支撑座，于基板支撑座及处理室壁之间以水平方式设置有有隔板，用以隔开基板支撑座上部空间及底部空间；而在隔板的底部空间内则以垂直方式设置有升降条，作为上下调整置于基板撑座上基板之位置，藉由连杆将该处理室壁内该隔板之一端与升降条相连接，使该升降条于升起时，该基板支撑座相对处理室壁上升，并同时使隔板呈倾斜状；反之，当该升降条下降时，该隔板则恢复到水平状态并同时关闭。本发明无需在隔板上开设孔洞以及另增设机盖，此时该处理室内的气流保持一定水平，以得到均衡的电浆，以致于整个隔板的电气特性保持均衡，并防止产生飞弧(arching)的现象；此外也无须另设机盖开关装置，以致本发明设备之构成得以简化，此外，还可以设置复数个大小不同的升降条，但其与基板之大小无关。

主权项

1.一种用于制造平面显示器之设备,包括: 一基板支撑座,其系装设于处理室内,用以支撑处 理室中之基板; 复数个隔板,以水平方式设置于该基板支撑座及该 处理室壁之间,用以隔开该基板支撑座的上部空间 及底部空间; 复数个升降条,以垂直方式设置于该隔板的底部空 间内,作为上下调整置于该基板支撑座上该基板之 位置; 复数个连杆,其系将该处理室壁之该隔板之一端与 该升降条相连接,使该升降条于升起时,该基板支 撑座相对该处理室壁上升,使该隔板呈倾斜状;反 之,当该升降条下降时,该隔板则恢复到水平状态 并同时关闭。 2.如申请专利范围第1项所述用于制造平面显示器 之设备,其中该升降条之顶端沿水平方向弯折成一 直角状。 3.如申请专利范围第1项所述用于制造平面显示器 之设备,其中该升降条上设置有一圆筒环,以该图 筒环环绕于该升降条上,使该升降条可独立以水平 方式旋转以防止上下移动,而该圆筒环与连杆相连 接。 图式简单说明: 第1图系说明一习知用于制造平面显示器(FPD)设备 之平面结构示意图。 第2a图至第2f图系分别说明第1图所述用于制造平 面显示器(FPD)设备操作方法之剖视图。 第3a图及第3b图系分别说明第1图所述用于制造平 面显示器(FPD)设备中所存在缺陷之示意图。 第4a图至第4d图系说明本发明用于制造平面显示器 (FPD)设备之示意图。