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发明名称 PAA-based etchant, method of using same, and resultant structure
摘要
申请公布号 KR100652407(B1) 申请公布日期 2006.12.01
申请号 KR20050027799 申请日期 2005.04.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/308;C09K13/08;C23F1/24;G11C8/02;H01L21/306;H01L21/3213;H01L21/336;H01L21/8238;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/786 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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