Sb Precursor and Manufacturing Method of Phase-Change Memory Device using the Same,申请号KR20040071868-传众专利搜索

发明名称	Sb Precursor and Manufacturing Method of Phase-Change Memory Device using the Same
摘要
申请公布号	KR100652378(B1)	申请公布日期	2006.12.01
申请号	KR20040071868	申请日期	2004.09.08
申请人		发明人
分类号	H01L27/115	主分类号	H01L27/115
代理机构		代理人
主权项
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