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发明名称 SUPPORT DE SUBSTRATS MINCES
摘要
申请公布号 FR2875054(B1) 申请公布日期 2006.12.01
申请号 FR20040051992 申请日期 2004.09.08
申请人 ALCATEL 发明人 PUECH MICHEL;GUICHENAL XAVIER
分类号 H01L21/673;H01L21/683;H01L23/36 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
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