发明名称 METHOD AND EQUIPMENT FOR INSPECTING ELECTRIC CHARACTERISTICS OF SPECIMEN
摘要
申请公布号 KR100653028(B1) 申请公布日期 2006.12.01
申请号 KR20057024374 申请日期 2005.12.19
申请人 发明人
分类号 G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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