发明名称 PROCESSED BODY CARRYING DEVICE, AND PROCESSING SYSTEM WITH CARRYING DEVICE
摘要
申请公布号 KR100652976(B1) 申请公布日期 2006.12.01
申请号 KR20047010021 申请日期 2002.12.25
申请人 发明人
分类号 B65G49/00;H01L21/68;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
主权项
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