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发明名称
PRECURSORS FOR SILICA OR METAL SILICATE FILMS
摘要
申请公布号
KR100651993(B1)
申请公布日期
2006.12.01
申请号
KR20050119363
申请日期
2005.12.08
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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