发明名称 Verfahren und Messanordnung zur elektrischen Ermittlung der Dicke von Halbleitermembranen durch Energieeintrag
摘要
申请公布号 DE102004051113(B4) 申请公布日期 2006.11.30
申请号 DE200410051113 申请日期 2004.10.21
申请人 X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES AG 发明人 HERING, SIEGFRIED;HOELZER, GISBERT
分类号 G01B7/06;G01B15/02 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
主权项
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