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Zur Ermittlung der zur rechnerischen Kompensation der Temperaturdrift einsetzbaren Temperaturdriftkurve wird vorgeschlagen, dass der temperaturempfindliche Teil (6) des Sensors mit einem definierten Temperaturprofil beaufschlagt wird und dass überprüft wird, ob die bei einem Durchlauf des Temperaturprofils erfassten Signaländerungen des Sensors mit den dazugehörigen Temperaturänderungen korreliert sind. Bevorzugt ist die Erfindung bei einem Halbleiterbeschleunigungssensor einsetzbar.
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