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发明名称 VERFAHREN ZUM TROCHENÄTZEN UND GASGEMISCH DAFÜR
摘要
申请公布号 DE69736839(D1) 申请公布日期 2006.11.30
申请号 DE19976036839 申请日期 1997.10.30
申请人 JAPAN AS REPRESENTED BY DIRECTOR GENERAL OF AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY;MECHANICAL SOCIAL SYSTEMS FOUNDATION;ELECTRONIC INDUSTRIES ASSOCIATION OF JAPAN;ZEON CORP. 发明人 SEKIYA, AKIRA;YAMADA, TOSHIRO;GOTO, KUNIAKI;TAKAGAKI, TETSUYA
分类号 H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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