| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen einer integrierten Halbleiterschaltung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10254473(B4) |
申请公布日期 |
2006.11.30 |
| 申请号 |
DE20021054473 |
申请日期 |
2002.11.21 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
ROTHENHAEUSER, STEFFEN;STAHRENBERG, KNUT |
| 分类号 |
H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/06 |
主分类号 |
H01L21/8234 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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