| 发明名称 |
STEMPEL FÜR EIN LITHOGRAPHISCHES VERFAHREN, METHODE ZUR STEMPELHERSTELLUNG UND METHODE ZUR HERSTELLUNG EINER GEMUSTERTEN SCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60118843(T2) |
申请公布日期 |
2006.11.30 |
| 申请号 |
DE20016018843T |
申请日期 |
2001.01.10 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
BLEES, H. |
| 分类号 |
G03F7/00;B41K1/02;H01L21/48 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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