| 发明名称 |
MESSUNG VON OBERFLÄCHENDEFEKTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60123996(D1) |
申请公布日期 |
2006.11.30 |
| 申请号 |
DE20016023996 |
申请日期 |
2001.11.16 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
TUKKER, W. |
| 分类号 |
G01B11/00;G01N21/95;G01B11/26;G01B11/30;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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