| 发明名称 |
Semiconductor device comprising a superlattice dielectric interface layer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2006249618(A1) |
申请公布日期 |
2006.11.30 |
| 申请号 |
AU20060249618 |
申请日期 |
2006.05.02 |
| 申请人 |
RJ MEARS, LLC |
发明人 |
MAREK HYTHA;ROBERT J. MEARS;XIANGYANG HUANG;SAMED HALILOV;ROBERT JOHN STEPHENSON;ILIJA DUKOVSKI;KALIPATNAM VIVEK RAO;JEAN AUSTIN CHAN SOW FOOK YIPTONG;SCOTT A. KREPS |
| 分类号 |
H01L29/15;H01L21/8238;H01L29/10;H01L29/423;H01L29/772;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L29/15 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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