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Es wird ein Analyseverfahren unter Verwendung eines Energieverlust-Spektrometers offenbart, das eine verbesserte Verarbeitungsgeschwindigkeit bieten kann. Auch wird ein mit dem Energieverlust-Spektrometer ausgestattetes Transmissionselektronenmikroskop bereitgestellt. Das Spektrometer weist eine CCD-Kamera zur Aufnahme mehrerer Spektren als ein Bild des photoelektrischen Geräts sowie ein Steuergerät zum stapelweisen Einlesen von Bildern der Kamera, zum Umwandeln der Positionen der die Bilder bildenden Pixel und zum Aufteilen jedes Bilds in mehrere Spektren auf. Dies ermöglicht eine Verbesserung der Verarbeitungsgeschwindigkeit des Spektrometers.
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