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发明名称
Zeitgeberschaltung und Verfahren zur Erzeugung einer Zeitsteuerung für ein Halbleiterprüfsystem
摘要
申请公布号
DE10006144(B4)
申请公布日期
2006.11.30
申请号
DE20001006144
申请日期
2000.02.11
申请人
ADVANTEST CORP.
发明人
SUGAMORI, SHIGERU
分类号
G01R31/3183;G01R31/319
主分类号
G01R31/3183
代理机构
代理人
主权项
地址
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