发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von insbesondere gekrümmten Substraten
摘要
申请公布号 DE10010766(B4) 申请公布日期 2006.11.30
申请号 DE20001010766 申请日期 2000.03.04
申请人 SCHOTT AG 发明人 DANIELZIK, BURKHARD;KUHR, MARKUS;MOEHL, WOLFGANG
分类号 C23C16/511;G02B1/10;H01J37/32;H05H1/46 主分类号 C23C16/511
代理机构 代理人
主权项
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