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发明名称
Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von insbesondere gekrümmten Substraten
摘要
申请公布号
DE10010766(B4)
申请公布日期
2006.11.30
申请号
DE20001010766
申请日期
2000.03.04
申请人
SCHOTT AG
发明人
DANIELZIK, BURKHARD;KUHR, MARKUS;MOEHL, WOLFGANG
分类号
C23C16/511;G02B1/10;H01J37/32;H05H1/46
主分类号
C23C16/511
代理机构
代理人
主权项
地址
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