MICROMECHANICAL COMPONENT COMPRISING A MEMBRANE AND METHOD FOR THE PRODUCTION OF SAID TYPE OF COMPONENT

摘要

Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauelement mit einem Schichtaufbau auf einem Halbleitersubstrat (8), wobei der Schichtaufbau wenigstens eine dielektrische Membran- schicht (30, 34) umfasst, die oberhalb einer im Halbleiter- substrat (8) befindlichen Stützstruktur (28) angeordnet ist. Es ist vorgesehen, dass die Stützstruktur (28) durch eine oder mehrere Hohlsäulen (26), bestehend im Wesentlichen aus Siliziumoxid, gebildet ist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen mikromechanischen Bauelements. Es ist jeweils vorgesehen, dass die Stützstruktur (28) durch eine oder mehrere Hohlsäulen (26), bestehend im Wesentlichen aus Siliziumoxid, gebildet ist bzw. wird.