| 发明名称 |
Zuverlässige Polycid Gatterstappelung mit reduzierten Schichtwiderstand |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69836184(D1) |
申请公布日期 |
2006.11.30 |
| 申请号 |
DE19986036184 |
申请日期 |
1998.08.29 |
| 申请人 |
QIMONDA AG |
发明人 |
SCHREMS, MARTIN;ILG, MATTHIAS |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/49;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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