Formation of suspended beams using SOI substrates, and application to the fabrication of a vibratory gyrometer,申请号KR20017003168-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Formation of suspended beams using SOI substrates, and application to the fabrication of a vibratory gyrometer
摘要
申请公布号	KR100651769(B1)	申请公布日期	2006.11.30
申请号	KR20017003168	申请日期	2001.03.12
申请人		发明人
分类号	H01L29/84	主分类号	H01L29/84
代理机构		代理人
主权项
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