| 发明名称 |
Selbstanordnende mikromechanische Einrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69835071(T2) |
申请公布日期 |
2006.11.30 |
| 申请号 |
DE19986035071T |
申请日期 |
1998.12.08 |
| 申请人 |
LUCENT TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
AKSYUK, VLADIMIR ANATOLYEVICH;BISHOP, DAVID JOHN |
| 分类号 |
F16S1/02;H01L25/00;B81B3/00;B81B5/00;B81B7/00;G01N13/10;G02B26/00;G02B26/08;H01L21/98;H01L23/13 |
主分类号 |
F16S1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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