发明名称 Herstellung abrupter Übergänge in Bauelementen unter Anwendung des Dotierstoffschneepflugeffektes beim Silizidwachstum
摘要
申请公布号 DE112004002401(T5) 申请公布日期 2006.11.30
申请号 DE200411002401 申请日期 2004.10.26
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 MASZARA, WITOLD P.
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/336;H01L29/417 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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