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发明名称 METHOD FOR FORMING A METAL LINE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100652306(B1) 申请公布日期 2006.11.30
申请号 KR20040114687 申请日期 2004.12.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/283;H01L21/3065 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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