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发明名称 Electrolytic ionized water producing apparatus and method of cleaning semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100652364(B1) 申请公布日期 2006.11.30
申请号 KR20000061026 申请日期 2000.10.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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