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发明名称 Vacuum sputtering pump
摘要
申请公布号 US3198422(A) 申请公布日期 1965.08.03
申请号 US19630285354 申请日期 1963.06.04
申请人 W.C. HERAEUS G.M.B.H. 发明人 KIENEL GERHARD
分类号 H01J41/20 主分类号 H01J41/20
代理机构 代理人
主权项
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