齿电式时栅传感器

摘要

本发明提出一种新的可同时兼顾动、静态测量的齿电式时栅位移传感器，它是在定子/定尺和转子/动尺上均开有两组槽齿，选择定子/定尺或转子/动尺上的两组槽齿错开半齿形成正交，而另两组槽齿则不错开，在定子/定尺和转子/动尺上以槽齿均匀间隔分别正方向、反方向各绕有线圈，将两组线圈组作为激励线圈，通以时间正交的两路简谐波激励，而在另两组线圈组中得到驻波响应，作为驻波响应线圈，将两路驻波相加即得到电行波，其移相大小就直接反映角位移或直线位移大小。本传感器的定子/定尺和转子/动尺骨架可以采用任何普通精度的机械加工设备，来保证线圈分布的均匀，价廉且结实，绕线也很简单，故而成本低，结实耐用，经得起恶劣工作环境的摔打碰撞，可以取代当今任何一种静、动态测量手段来实现高精度测量。

主权项

1、齿电式时栅传感器，它具有定子和转子，其特征在于：在定子和转子上沿圆周均开有上下平行的两组槽齿，且定子与转子上的槽齿数相同，其中选择定子或转子上的两组槽齿沿圆周错开半齿形成正交，另两组槽齿则不错开；在定子和转子上以槽齿均匀间隔分别沿正方向、反方向各绕有线圈，共形成四个沿圆周分布的以相邻齿为周期的线圈组，将两组线圈组作为激励线圈，通以时间正交的两路简谐波激励，而另两组线圈组为驻波响应线圈，两路驻波相加即得到电行波，电行波的相位移动与被检测的空间位移一一对应。