发明名称 Semiconductor device with epitaxial C49-titanium silicide (TiSi2) layer and method for fabricating the same
摘要
申请公布号 GB0620741(D0) 申请公布日期 2006.11.29
申请号 GB20060020741 申请日期 2003.12.30
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC 发明人
分类号 H01L21/24 主分类号 H01L21/24
代理机构 代理人
主权项
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