| 发明名称 | 电镀工艺中的现场形貌测量 | ||
| 摘要 | 一种用于测量电化学镀槽的电解液中的差分电压的方法和装置。从所测的差分电压计算电流密度，然后与镀上的材料厚度值相关联。可以从厚度值中产生实时厚度形貌。 | ||
| 申请公布号 | CN1870240A | 申请公布日期 | 2006.11.29 |
| 申请号 | CN200610083007.X | 申请日期 | 2006.05.25 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 曼欧彻尔·比郎;尼克雷·阔瓦斯克;阿隆·罗森费尔德 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01);G01R19/00(2006.01);C25D19/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 赵飞 |
| 主权项 | 1.一种用于在电解液中进行的电化学镀工艺期间产生实时厚度形貌的方法，包括：使用布置在所述电解液中的传感器阵列测量一组电流；对所述组电流相对于一段时间进行积分以获得一组电量数据；使所述组电量数据与镀上厚度的值关联；从所述镀上厚度的值中产生所述实时厚度形貌。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||