| 发明名称 | 液体供给方法及装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种液体供给方法，其中，当通过将微量的化学品等供应至超纯水中来制备能用作洗涤水等的溶液时，所供应的供给液的量可以精确地测定。在该液体供给方法中，通过将供给液供应至在主流体流通管(2)中流通的主流体中来制备溶液。该液体供给方法使用的液体供应装置(1)包括：输送供给液的供给部(3)；和使供给液从供给部(3)流到主流体流通管(2)的供给液流通管(4)，供给液流通管(4)的内直径在0.01和1mm之间。当通过供给液流通管(4)将供给液从供给部(3)供应至主流体流通管(2)时，供给部(3)的供给液压强P1和主流体流通管中的主流体压强P2满足式P1－P2＞0。 | ||
| 申请公布号 | CN1871693A | 申请公布日期 | 2006.11.29 |
| 申请号 | CN200480030834.1 | 申请日期 | 2004.10.15 |
| 申请人 | 大日本油墨化学工业株式会社;株式会社启梓SCT | 发明人 | 菅沼俊和;富田康司;酒井一成;羽田尚树;风间胜彦 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01);B01J4/02(2006.01);B08B3/08(2006.01) | 主分类号 | H01L21/304(2006.01) |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人 | 刘新宇 |
| 主权项 | 1.一种液体供给方法，该液体供给方法通过将供给液供应至在主流体流通管中流通的主流体来制备溶液，其使用液体供给装置，该装置包括：输送该供给液的供给部；和使该供给液从该供给部流到该主流体流通管的供给液流通管，该供给液流通管的内直径在0.01和1mm之间，其中当通过该供给液流通管将该供给液从该供给部供应至该主流体流通管时，该供给部中的该供给液压强P1和该主流体流通管中的该主流体压强P2满足式P1-P2＞0。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||