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发明名称 ELECTRON BEAM PROCESSING
摘要
申请公布号 EP1419418(A4) 申请公布日期 2006.11.29
申请号 EP20020765886 申请日期 2002.07.27
申请人 FEI COMPANY 发明人 MUSIL, CHRISTIAN, R.;CASEY, DAVID, J., JR.;GANNON, THOMAS, J.;CHANDLER, CLIVE;DA, XIADONG
分类号 G03F1/00;H01J9/14;H01J37/305;H01L21/027 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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