| 发明名称 | 图案生成装置和用于测量表面物理特性的装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及在用于曝光设备的表面写入图案的方法，包括以下步骤：将具有一表面和一厚度(T)的物体设置在图案生成装置的工作台上；将表面分成多个测量点，其中两个相邻测量点间隔距离(P)不超过预定最大距离；在每个测量点确定所述表面的梯度，计算每个测量点在x－y平面的二维局部偏移量(d)，所述二维局部偏移量(d)为梯度和物体的厚度(T)的函数；和利用二维局部偏移量(d)校正在所述表面写入的图案。本发明还涉及图案生成装置，以及用于测量物体表面的物理特性的方法和装置。 | ||
| 申请公布号 | CN1871128A | 申请公布日期 | 2006.11.29 |
| 申请号 | CN200480031019.7 | 申请日期 | 2004.09.03 |
| 申请人 | 麦克罗尼克激光系统公司 | 发明人 | 拉尔斯·斯蒂布勒特;彼得·埃克伯格 |
| 分类号 | B41J2/435(2006.01);G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | B41J2/435(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 马高平;杨梧 |
| 主权项 | 1.一种在用于曝光设备的表面写入图案的方法，包括以下步骤：将具有一表面和一厚度(T)的物体设置在图案生成装置的工作台上，将所述表面分成多个测量点，其中两个相邻测量点间隔距离(P)不超过预定最大距离，在每个测量点确定所述表面的梯度，计算每个测量点在x-y平面的二维局部偏移量(d)，所述二维局部偏移量(d)为所述梯度和物体厚度(T)的函数，和利用所述二维局部偏移量(d)校正在所述表面写入的图案。 | ||
| 地址 | 瑞典泰比 | ||