半导体制造过程派工控制方法

摘要

一种半导体制造过程派工控制方法以及制造半导体组件的方法，其实施于一电脑及一运送系统，用以决定多个晶圆产品中哪一种能送进制造系统。首先，由该电脑取得每一种晶圆产品的相对产量及等待时间限制。接着，并计算每一晶圆产品的多制造过程加工需求时间以及每一晶圆产品的总等待时间限制。该电脑并根据该加工需求时间以及总等待时间限制的比较结果，决定哪一种晶圆产品可被送入该制造系统，当一晶圆产品的多制造过程加工需求时间小于总等待时间限制，批次晶圆可被送入制造系统中处理或者在既定的机台中进一步处理该晶圆产品，再由该运送系统依据该比较结果，将该选定的晶圆产品运送至该制造系统。

主权项

1.一种半导体制造过程等待时间限制下的派工控制方法，其实施于一具有输入单元及运算单元的电子计算机及一运送系统，用以决定多个晶圆产品中哪一种能送进一制造系统，此方法包括下列步骤：由该输入单元接收每一种晶圆产品的一相对产量及一等待时间限制参数；由该运算单元计算每一晶圆产品的一加工需求时间；由该运算单元计算每一晶圆产品的一总等待时间限制；以及由该运算单元根据该加工需求时间以及总等待时间限制的比较结果，决定那一种晶圆产品可被送入该制造系统；由该运送系统依据该比较结果，将该选定的晶圆产品运送至该制造系统；其中当一晶圆产品的加工需求时间小于总等待时间限制时，该晶圆产品可被送入该制造系统；其中当该晶圆产品的加工需求时间不小于总等待时间限制时，避免将该晶圆产品可被送入该制造系统。