发明名称 SILICON WAFER AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1138809(A4) 申请公布日期 2006.11.29
申请号 EP20000956804 申请日期 2000.08.30
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD 发明人 KOBAYASHI, NORIHIRO;AKIYAMA, SHOJI;TAMATSUKA, MASARO;SHINOMIYA, MASARU
分类号 C30B29/06;C30B15/00;C30B15/04;H01L21/322;(IPC1-7):C30B15/00;C30B33/00 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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