| 发明名称 | 使用摩擦传感器的抛光终点检测系统和方法 | ||
| 摘要 | 描述了监控正经历抛光的衬底的摩擦系数的系统方法和设备。抛光垫组件包括具有抛光表面的抛光层和柔性耦合到抛光层的衬底接触构件，衬底接触构件具有接触衬底的暴露表面的顶表面。顶表面的至少一部分与抛光表面基本共面。设置传感器易测量衬底接触构件的横向位移。一些实施例可以在化学机械抛光期间提供精确的终点检测来指示下层的暴露。 | ||
| 申请公布号 | CN1871504A | 申请公布日期 | 2006.11.29 |
| 申请号 | CN200480031574.X | 申请日期 | 2004.10.28 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 格布里尔·罗里米尔·米勒;曼欧彻尔·比郎;尼欧司·约翰逊;博古斯劳·A·司维德克;多米尼克·J·本文格努 |
| 分类号 | G01N19/02(2006.01);B24B37/04(2006.01);B24B49/16(2006.01) | 主分类号 | G01N19/02(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 赵飞 |
| 主权项 | 1.一种监控正经历抛光的衬底的摩擦系数的设备，包括：可移动构件，所述可移动构件具有接触衬底的暴露表面的顶表面，所述可移动构件响应于来自所述衬底的摩擦力而横向位移，所述顶表面具有比所述衬底的所述暴露表面的表面积小的表面积；和传感器，所述传感器基于所述可移动构件的横向位移产生信号。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||