一种感光元器件以及其镀膜方法和装置

摘要

本发明的一种感光元器件以及其镀膜方法和装置，其方法包括以下步骤：将数个未加保护层的感光元器件设置在一移动部件上，并设置在一密闭空间内；对该密闭空间抽真空，然后注入用于产生离子的气体，并加温加电压；设置一镀膜装置，由所述气体产生的离子流轰击镀膜材料产生溅射离子流，并射向所述感光元器件，所述感光元器件由所述移动部件带动穿越所述溅射离子流的区域，以减少镀膜时在所述感光元器件上的温度积累。本发明方法及其装置，实现了直接在感光元器件的微透镜层上的均匀镀膜，产品良率高，减少感光元器件的保护玻璃层，提高了感光器的感光度。

主权项

1、一种感光元器件的镀膜方法，其包括以下步骤：a)将数个未加保护层的感光元器件设置在一移动部件上，并设置在一密闭空间内；b)对该密闭空间抽真空，然后注入用于产生离子的气体，并加温加电压；c)设置一镀膜装置，由所述气体产生的离子流轰击镀膜材料产生溅射离子流，并射向所述感光元器件，所述感光元器件由所述移动部件带动穿越所述溅射离子流的区域，以减少镀膜时在所述感光元器件上的温度积累。