| 发明名称 | 硅基衬底的涂层系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供了用于硅基衬底的粘合层系统，其中在所述硅基衬底和含硅金属的吸氧层之间提供了弹性模量为30－130GPa的柔性层。 | ||
| 申请公布号 | CN1868973A | 申请公布日期 | 2006.11.29 |
| 申请号 | CN200610068252.3 | 申请日期 | 2006.03.22 |
| 申请人 | 联合工艺公司 | 发明人 | T·巴蒂亚;W·R·施密德特;W·K·特雷维;V·R·韦杜拉 |
| 分类号 | C04B41/89(2006.01) | 主分类号 | C04B41/89(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 范赤;段晓玲 |
| 主权项 | 1、一种制品，包括：硅基衬底；吸氧层；位于所述硅基衬底和吸氧层之间的柔性层，其中所述柔性层具有30-130GPa的弹性模量；和在所述吸氧层上的环境阻挡涂层(EBC)。 | ||
| 地址 | 美国康涅狄格州 | ||