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经营范围
发明名称
SUSCEPTOR POCKET PROFILE TO IMPROVE PROCESS PERFORMANCE
摘要
申请公布号
EP1348230(B1)
申请公布日期
2006.11.29
申请号
EP20010998041
申请日期
2001.12.11
申请人
ASM AMERICA, INC. ASM AMERICA, INC.
发明人
GOODMAN, MATTHEW, G. GOODMAN, MATTHEW, G.
分类号
C23C16/458;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/324;H01L21/687
主分类号
C23C16/458
代理机构
代理人
主权项
地址
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