发明名称 SUSCEPTOR POCKET PROFILE TO IMPROVE PROCESS PERFORMANCE
摘要
申请公布号 EP1348230(B1) 申请公布日期 2006.11.29
申请号 EP20010998041 申请日期 2001.12.11
申请人 ASM AMERICA, INC. ASM AMERICA, INC. 发明人 GOODMAN, MATTHEW, G. GOODMAN, MATTHEW, G.
分类号 C23C16/458;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/324;H01L21/687 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
主权项
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