发明名称 Enhanced multi-component oxide-containing sputter target alloy compositions
摘要
申请公布号 SG126812(A1) 申请公布日期 2006.11.29
申请号 SG20050006159 申请日期 2005.09.26
申请人 HERAEUS, INC. 发明人 RACINE MICHAEL GENE;DAS ANIRBAN;KENNEDY STEVEN ROGER;CHENG, YUANDA, R.
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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