旋转式干式真空泵

摘要

在旋转式干式真空泵中，在驱动部中使用了封闭式马达的情况下，反应生成气体混入封闭式马达内部、马达发生故障，因而有旋转式干式真空泵发生故障的问题。为了解决这个问题，提供一种旋转式干式真空泵，具有旋转转子，该旋转转子包括收纳在机壳内的单个或多个转子、对这些转子的旋转轴进行支承的轴承、形成在上述机壳上的流体的吸气口及排出口、和对上述单个或多个转子中的至少一个进行旋转驱动的马达；其具有如下结构：上述马达具备马达的机壳内部固定的定子铁芯，在上述机壳上固接在定子内径侧安装的隔壁来密封隔壁内，在隔壁内的旋转轴上旋转自如地固接有旋转件，设有用于使净化气体流入上述隔壁内的气体注入口。

主权项

1.一种旋转式干式真空泵，具有旋转转子，该旋转转子包括收纳在机壳内的单个或多个转子、对这些转子的旋转轴进行支承的轴承、形成在上述机壳上的流体的吸气口及排出口、和对上述单个或多个转子中的至少一个进行旋转驱动的马达；其特征在于，具有如下结构：上述马达具备定子铁芯，在上述机壳上固接在定子内径侧安装的隔壁来密封隔壁内，在隔壁内旋转自如地配置有旋转件，上述多个转子中的至少一个转子的旋转轴与旋转件的旋转轴固接来旋转驱动转子，设有用于使净化气体流入上述隔壁内的气体注入口。