喷射沉积有机物蒸汽的方法和装置

摘要

提出一种制造有机物薄膜的方法。使用一种隋性的运载气体来输送有机物蒸汽，该有机物蒸汽通过喷嘴组件(930)喷射到冷却基片(950)上而形成带图形的有机物薄膜(960)。还提出一种实施上述方法的装置，该装置具有一个有机物蒸汽源、一个运载气体源和一个真空室。与有机物蒸汽源和运载气体源相连接的加热的喷嘴组件(930)至少具有一个可将运载气体和有机物蒸汽喷射到设置在真空室内的冷却基片(950)上的喷嘴。

主权项

1.一种制造有机物薄膜的方法，包含如下步骤：a)提供一种传输有机物蒸汽的加热的惰性运载气体；b)以至少相当于分子热速度的总体平均流速通过一个喷嘴组件将上述的传输有机物蒸汽的热的惰性运载气体喷到冷却的基片上面形成带有图形的有机物薄膜，其中所述基片与所述喷嘴组件的间距小于1500微米。