| 发明名称 | 器壁清洗装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种器壁清洗装置，包括：一连接管，其上设有数个喷头；数个支架的一端连接于该连接管；及一中空体的一器壁连接于该支架的另一端。如此，可防止结晶物沉积在器壁上，及消除该结晶物掉落于晶圆上而产生缺陷的现象。 | ||
| 申请公布号 | CN1286584C | 申请公布日期 | 2006.11.29 |
| 申请号 | CN200310109861.5 | 申请日期 | 2003.12.30 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 吴锦亮;赵主巨;酆黎明 |
| 分类号 | B08B9/08(2006.01);B08B3/08(2006.01) | 主分类号 | B08B9/08(2006.01) |
| 代理机构 | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人 | 竺明;谢晋光 |
| 主权项 | 1.一种器壁清洗装置，包括：一连接管，设置于一中空体内腔，其上设有数个喷头；及数个支架，其一端连接于该连接管，具有足够强度支承该连接管；一中空体的器壁内面连接于所述的数个支架的另一端；一接地装置，连接于所述中空体的器壁；所述的连接管由该中空体的外部引入洗剂，以由所述的喷头喷出。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号 | ||