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发明名称 SUBSTRATE WASHING APPARATUS, SUBSTRATE WASHING METHOD AND MEDIA HAVING SUBSTRATE WASHING PROGRAM
摘要
申请公布号 KR100648165(B1) 申请公布日期 2006.11.28
申请号 KR20057020693 申请日期 2005.10.31
申请人 发明人
分类号 B08B1/04;H01L21/00;H01L21/304 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人
主权项
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