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发明名称 Substrate transporting apparatus, processing apparatus, processing system for substrate, transporting method, receiving apparatus and accommodating box
摘要
申请公布号 KR100650807(B1) 申请公布日期 2006.11.27
申请号 KR20000033210 申请日期 2000.06.16
申请人 发明人
分类号 B65G49/00;B65G49/06;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
主权项
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