发明名称 Method for forming contact plug of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100650715(B1) 申请公布日期 2006.11.27
申请号 KR20030084311 申请日期 2003.11.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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