| 发明名称 |
Anordning og fremgangsmåde til retningsbestemt påföring af deponeringsmateriale på et substrat |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DK1350863(T3) |
申请公布日期 |
2006.11.27 |
| 申请号 |
DK20020006164T |
申请日期 |
2002.03.19 |
| 申请人 |
SCHEUTEN GLASGROEP |
发明人 |
KAAS, PATRICK;GEYER, VOLKER |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/34;C23C14/22;C23C14/35;C23C14/56;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
