发明名称 Malfunction Detector Gas Valve in Semiconductor/LCD Manufacturing Equipment
摘要
申请公布号 KR100649112(B1) 申请公布日期 2006.11.24
申请号 KR20050002681 申请日期 2005.01.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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