发明名称 PROCEDE POUR FORMER UN TAMPON DE POLISSAGE MECANO-CHIMIQUE MOULE PAR INJECTION-REACTION POREUX
摘要 <p>L'invention concerne un procédé de formation d'un tampon de polissage mécano-chimique qui comprend l'approvisionnement d'un réservoir (3) avec des matières polymères (52), l'approvisionnement d'un silo de stockage (1) avec des microsphères (48), l'approvisionnement d'un réservoir de stockage d'isocyanate (12) avec des isocyanates (53), l'apport des matières polymères et des microsphères à un réservoir de préparation de prémélange (10), la formation d'un prémélange (51) des matières polymères et des microsphères, l'apport du prémélange à un réservoir de traitement de prémélange (15), la formation d'un mélange du prémélange et des isocyanates, l'injection du mélange dans un moule fermé (14), le durcissement du tampon de polissage (4) dans le moule et le dégazage d'au moins un élément parmi le réservoir, le réservoir de stockage d'isocyanate et le moule.</p>
申请公布号 FR2885836(A1) 申请公布日期 2006.11.24
申请号 FR20060051226 申请日期 2006.04.06
申请人 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS, INC 发明人 JAMES DAVID B;ROBERTS JOH V H
分类号 B24D99/00;B29B13/00;B24B37/00;B24D18/00;B29D99/00 主分类号 B24D99/00
代理机构 代理人
主权项
地址