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发明名称 Lid of plasma chamber
摘要
申请公布号 KR100649895(B1) 申请公布日期 2006.11.24
申请号 KR20010077373 申请日期 2001.12.07
申请人 发明人
分类号 H05H1/00 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人
主权项
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