发明名称
摘要
申请公布号 JP2006526757(A) 申请公布日期 2006.11.24
申请号 JP20060514959 申请日期 2004.05.26
申请人 发明人
分类号 F28D15/06;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 F28D15/06
代理机构 代理人
主权项
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