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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITION AND ETCHING OF A DIELECTRIC LAYER
摘要
申请公布号 KR100650220(B1) 申请公布日期 2006.11.24
申请号 KR20007010424 申请日期 2000.09.20
申请人 发明人
分类号 C23C16/40 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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